高纯石墨制品的化学纯化，是基于金属卤素化合物，都是低沸点化合物这一事实。如四氯化硅在56.8度沸腾，二氯化铁在319度沸腾，而氟利昂-12等卤素及其化合物，又能渗透进石墨制品与石墨中的杂质反应，生成金属卤素化合物，挥发出来，使石墨制品中杂质含量下降。这一技术早为人知，用于生产分析用光谱纯级石墨电极，但光谱纯级石墨电极直径很小，一般在10mm以下。如需大规格高纯石墨，需要在工业规模的设备中进行。
通常的纯化气体为氯气和氟利昂。当石墨化温度达到1000度以上时，即可通入氯气，在2000度时再换通氟利昂气体。工业上为降低费用，改在1800度时，先通氮气，排除炉芯的挥发气体，到1950度时通入氯气，在350度时再通入氟利昂气体，为防止含杂质的气体反渗回石墨，停电冷却时，还要保持通气数小时，最后再同入氮气，以排除石墨气孔中的残余气体。
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